MFC

质量流量控制器。气体管道中安装的精确调节组件,用于调节气流。在 PC 控制型等离子设备中,通过 MFC 可调节 工艺气体的供给。作为选配配件,用于工艺控制的 MFC 也可以用于手动和半自动 低压等离子体设备。

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