MFC

质量流量控制器。气体管道中安装的精确调节组件，用于调节气流。在 PC 控制型等离子设备中，通过 MFC 可调节 工艺气体的供给。作为选配配件，用于工艺控制的 MFC 也可以用于手动和半自动 低压等离子体设备。