LIGA

LIGA 则为例外，这是一个德语缩写，其表示光刻、电镀、制模。约 30 年前，当时的核研究中心研发了这种方法，这种方法适用于生产超精细的结构和微机械组件。结构间距最低可约为 0.2µm，结构高度最高可达几个毫米。高度比例：结构宽度（宽高比）可达到 50 以上。这种方法可在例如超精细光学领域中加以应用，或者还可用于生产最小的机械组件，如微型机械传动装置的齿轮。这些组件可由各种塑料、金属或陶瓷制成。LIGA 方法的各个步骤相当于 光刻法，此方法用于 制造印刷电路板 。