LIGA

LIGA 则为例外,这是一个德语缩写,其表示光刻电镀制模。约 30 年前,当时的核研究中心研发了这种方法,这种方法适用于生产超精细的结构和微机械组件。结构间距最低可约为 0.2µm,结构高度最高可达几个毫米。高度比例:结构宽度(宽高比)可达到 50 以上。这种方法可在例如超精细光学领域中加以应用,或者还可用于生产最小的机械组件,如微型机械传动装置的齿轮。这些组件可由各种塑料、金属或陶瓷制成。LIGA 方法的各个步骤相当于 光刻法,此方法用于 制造印刷电路板

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