干式蚀刻

传统蚀刻方法的基础是,通过会腐蚀表面材料(基材)的液体(蚀刻液、底漆)去除表面材料。这些液体都是根据基材选定的溶剂、碱或酸。这种蚀刻方法被称为湿化学蚀刻方法。大多数基材仅可通过非常有害环境和健康的蚀刻液进行蚀刻。无需使用湿化学方法,蚀刻工艺流程可在 低压等离子体 中进行。因此,这种 在 等离子体 中进行的蚀刻工艺被称为干式蚀刻。通常,任何能想到的基材都可以通过干式蚀刻进行处理。干式蚀刻这个术语涵盖了以下蚀刻方法

“干式蚀刻”这个术语涵盖了所有可通过等离子体作用进行的蚀刻工艺,而“等离子蚀刻”这个术语 相反仅用于表示通过 工艺气体的化学作用进行的蚀刻。可能会发生混淆。所以,最好用化学干式蚀刻或“Chemical Dry Etching”这些表述来代替“等离子蚀刻”这个术语。

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