料架

在均匀的 低压等离子体 中，在批量生产期间可同时在一个等离子体腔室中对大批量工件进行处理。通常会为此使用 转鼓 或者料架。 
料架是一种多层支架，在其中可以有序放置大量小零件。通过料架可以最佳利用腔室容积，并同时按照规定放置所有经过处理的部件。如果在工艺流程期间部件意外的发生互相触碰，或者如果部件具有极高的机械敏感性，则使用料架比使用转鼓方法更合适。料架广泛应用于 等离子清洗、 等离子蚀刻 或者 等离子涂覆 微电子领域的组件如 IC 和 导线架 。