下游等离子体

通常情况下， 低压等离子体 会在处理腔室中产生。但是，如果不希望高腐蚀性的 紫外线辐射 作用于处理产品上， 等离子体 则可以在一个单独隔离的腔室中产生。 自由基 和 离子 流入处理腔室中，但是紫外线辐射被屏蔽。