扫描电子显微镜 (REM)

显微镜的分辨率可通过以下方式加以限制:只有在两点互相之间的间距超过了观察所用辐射波长的一半时,才能将两点取作可分离的两点。电子束的波长比可见光的波长小很多。故此,可以分辨极其微小的结构。 通过 REM 可观察反射辐射。期间,电子束以点到点的形式(“网格”)扫描对象。REM 的一个非常特别的优点在于,不仅可以在极窄的间距内聚焦,而且还能够以较大的深度对三维结构进行整体清晰成像。还有一种透射电子显微镜 (TEM),其重要性不是非常高,因为其仅可用于极薄的对象,该对象可透射电子束。

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