扫描电子显微镜 (REM)
显微镜的分辨率可通过以下方式加以限制：只有在两点互相之间的间距超过了观察所用辐射波长的一半时，才能将两点取作可分离的两点。电子束的波长比可见光的波长小很多。故此，可以分辨极其微小的结构。 通过 REM 可观察反射辐射。期间，电子束以点到点的形式（“网格”）扫描对象。REM 的一个非常特别的优点在于，不仅可以在极窄的间距内聚焦，而且还能够以较大的深度对三维结构进行整体清晰成像。还有一种透射电子显微镜 (TEM)，其重要性不是非常高，因为其仅可用于极薄的对象，该对象可透射电子束。
