涡轮分子泵

涡轮分子泵，有时候简称为涡轮泵，是一种 超高真空泵 ，用于低至 10^-10 mbar 的极低最终压力）。设备中实际可达到的压力取决于 接收器 中组件的泄漏率和排气。涡轮分子泵由一系列连续排列的定子和转子所组成，相当于一个喷气发动机。涡轮分子泵的转速为每分钟几万转。由于涡轮泵的抽气能力会随压力增加而有所下降，故此其仅可与抽气泵，例如： 旋片泵一同运行。如果需要极低的压力，而该压力是其他类型的泵（旋片泵、罗茨泵）所无法达到的，则可以在等离子设备中使用涡轮分子泵。