涡轮分子泵

涡轮分子泵,有时候简称为涡轮泵,是一种 超高真空泵 ,用于低至 10-10 mbar 的极低最终压力)。设备中实际可达到的压力取决于 接收器 中组件的泄漏率和排气。涡轮分子泵由一系列连续排列的定子和转子所组成,相当于一个喷气发动机。涡轮分子泵的转速为每分钟几万转。由于涡轮泵的抽气能力会随压力增加而有所下降,故此其仅可与抽气泵,例如: 旋片泵一同运行。如果需要极低的压力,而该压力是其他类型的泵(旋片泵、罗茨泵)所无法达到的,则可以在等离子设备中使用涡轮分子泵。

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