旋片泵

真空技术中以及 等离子体技术 领域中最常用的泵类型是机械式油润滑型旋片泵。使用这种旋片泵，大气压可到达 10^-3 mbar。如要产生 超高真空 ，则通常需要使用旋片泵来产生预真空。