旋片泵

真空技术中以及 等离子体技术 领域中最常用的泵类型是机械式油润滑型旋片泵。使用这种旋片泵,大气压可到达 10-3 mbar。如要产生 超高真空 ,则通常需要使用旋片泵来产生预真空。

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