筒状反应器

也称为“管式反应器或者通道式反应器”。圆柱形 等离子设备，其将沿 工艺气体 的轴向方向流动。在 高频激发 由 MHz 辐射 进行时，将形成一个 电极 （作为圆筒），并将在圆筒中心形成第二个电极（作为板件）。第二个电极通常作为产品支架。该反应器的设计结构优选用于等离子蚀刻工艺，在该工艺中要避免基材的直接离子轰击。进行 等离子蚀刻 于筒状反应器中时，在 MHz 激发的情况下可获得较高的蚀刻速率。