表面处理
表面处理包括会产生以下效果的所有方法和工艺流程：
清洗、 粗糙化、 活化、 蚀刻、抛光、结构化、 氧化、烧蓝、硬化、 涂覆。
涂覆这一术语还包括了诸如
涂漆、印刷、层压、 粘接涂覆保护层 (DLC、 HMDSO)、 光刻胶、 氧化、疏水、 亲水性 涂层之类的方法。对于这些效果的绝大多数而言，可以采用机械或湿化学工艺。但在任何情况下都可以采用等离子方法，因为其通常更具优势，或者是唯一切实可行的技术解决方案。通过 等离子工艺流程 主要可以对最狭窄的空腔和间隙进行涂覆，并获得原子层精度的效果。这种在 等离子体 中进行干式处理的一个特别的优点在于，对危险的化学品进行运输、存放、处理和废弃处理时，不再需要采用复杂且昂贵的方法。
