等离子体的颜色
此 等离子体 的颜色是由能量激发态的 原子、 离子 或者 分子 在低能态下松弛时进行释放所产生的。因为每种 气体 中的能级具有不同的能量转换，所以每种 工艺气体 均会显示出不同特征的排放，并因此显示出不同特征的颜色。一些经常在 等离子工艺流程 中使用的气体的典型颜色如下所述
CF4：蓝色
SF6：淡蓝色
SiF4：浅蓝色
SiCl4：浅蓝色
Cl2：淡绿色
CCl4：淡绿色
H2：粉红色
O2：白色带蓝色
N2：红色至黄色
Br2：红色
He：红色至紫色
Ne：砖红色
Ar：暗红色
等离子体的颜色不仅可用于识别工艺气体，而且还可以用于定性评估工艺气体是否不含污染物。
