等离子体的颜色

等离子体 的颜色是由能量激发态的 原子离子 或者 分子 在低能态下松弛时进行释放所产生的。因为每种 气体 中的能级具有不同的能量转换,所以每种 工艺气体 均会显示出不同特征的排放,并因此显示出不同特征的颜色。一些经常在 等离子工艺流程 中使用的气体的典型颜色如下所述:CF4:蓝色
SF6:淡蓝色
SiF4:浅蓝色
SiCl4:浅蓝色
Cl2:淡绿色
CCl4:淡绿色
H2:粉红色
O2:淡黄色
N2:红色至黄色
Br2:红色
He:红色至紫色
Ne:砖红色
Ar:暗红色 等离子体的颜色不仅可用于识别工艺气体,而且还可以用于定性评估工艺气体是否不含污染物。

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