等离子体的颜色

此 等离子体 的颜色是由能量激发态的 原子、 离子 或者 分子 在低能态下松弛时进行释放所产生的。因为每种 气体 中的能级具有不同的能量转换，所以每种 工艺气体 均会显示出不同特征的排放，并因此显示出不同特征的颜色。一些经常在 等离子工艺流程 中使用的气体的典型颜色如下所述
CF₄：蓝色
SF₆：淡蓝色
SiF₄：浅蓝色
SiCl₄：浅蓝色
Cl₂：淡绿色
CCl₄：淡绿色
H₂：粉红色
O₂：白色带蓝色
N₂：红色至黄色
Br₂：红色
He：红色至紫色
Ne：砖红色
Ar：暗红色

等离子体的颜色不仅可用于识别工艺气体，而且还可以用于定性评估工艺气体是否不含污染物。