微技术

制造和加工介于 0.1 µm 至 1000 µm 之间的结构尺寸。普通机械加工方法无法再用于对此类结构进行加工。例如会采用 光刻 和 等离子蚀刻方法 （DRIE; RIE) 方法进行工作。微技术最重要的应用领域是

• 微电子：制造 半导体 和 导体电路结构，特别是通过光刻 法。
• 微光学：制造诸如衍射光栅、光柱、微透镜之类的光学元件
• 微机械：用微电子制造方法制造诸如齿轮、各种变速箱、轴之类的机械功能部件。
• 制造用于化学、生物和医疗分析的微流体结构，这些微流体结构均含有尺寸低于 1 mm 的通道、泵、阀（芯片实验室）
• 制造用于微机械部件（例如：微流体装置）浇注或注模的成型模具

由于装置较为复杂，所以在接合微技术零部件时通常非常困难，所以，人们试图通过一个组件制造多功能系统，例如：通过一个硅基材制成的电子微型开关同时涵盖了机械和电气功能。这种集成微技术部件的技术称为 微系统技术。