微技术

制造和加工介于 0.1 µm 至 1000 µm 之间的结构尺寸。普通机械加工方法无法再用于对此类结构进行加工。例如会采用 光刻等离子蚀刻方法DRIE; RIE) 方法进行工作。微技术最重要的应用领域是

  • 微电子:制造 半导体导体电路结构,特别是通过光刻 法。
  • 微光学:制造诸如衍射光栅、光柱、微透镜之类的光学元件
  • 微机械:用微电子制造方法制造诸如齿轮、各种变速箱、轴之类的机械功能部件。
  • 制造用于化学、生物和医疗分析的微流体结构,这些微流体结构均含有尺寸低于 1 mm 的通道、泵、阀(芯片实验室)
  • 制造用于微机械部件(例如:微流体装置)浇注或注模的成型模具

由于装置较为复杂,所以在接合微技术零部件时通常非常困难,所以,人们试图通过一个组件制造多功能系统,例如:通过一个硅基材制成的电子微型开关同时涵盖了机械和电气功能。这种集成微技术部件的技术称为 微系统技术

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