靶材

“Target”的中文表达方式。靶材是指 溅射时的离子轰击目标。通过物理蚀刻 可以将原子和分子从靶材中轰击出来，并转化为气相。这些粒子在采用 PVD 方法 时会凝结在基材上，并在基材上形成涂层。