CDE (Chemical Dry Etching)

化学干法蚀刻。CDE 是化学等离子蚀刻工艺的常用缩写，也被称为“化学蚀刻”或者简称为“等离子蚀刻”。干法化学蚀刻 是在 等离子体 中通过 活性种 （激发的 原子、 自由基、 离子）与基材分子发生反应来实现的。此 工艺气体 必须与基材匹配（选择性蚀刻过程），蚀刻过程是无方向性的（各向同性）。