CDE Chemical Dry Etching

化学干法蚀刻。CDE 是化学等离子蚀刻工艺的常用缩写,也被称为“化学蚀刻”或者简称为“等离子蚀刻”。干法化学蚀刻 是在 等离子体 中通过 活性种 (激发的 原子自由基离子)与基材分子发生反应来实现的。此 工艺气体 必须与基材匹配(选择性蚀刻过程),蚀刻过程是无方向性的(各向同性)。

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