湿法工艺

传统清洁剂为液态溶剂或腐蚀性碱和酸。大多在浸渍池中进行清洗。通常还辅以机械工艺方法。以同样的方式进行表面蚀刻。湿法工艺的优点是,相对较高的清洗速度和较高的蚀刻速率。然而,清洗液和蚀刻液无一例外均有害环境且有害健康,并且在存放、处理和废弃处理时必须遵守复杂且昂贵的方法。此外,湿化学方法还需要进行后续处理,以去除化学品和进行干燥。干化学等离子方法则完全规避了这些缺点。此外,特别有利的是,在 低压等离子体 中还可以对最细小的间歇和侧凹进行充分 清洗蚀刻 ,其甚至能够以原子层的精度进行工作,而且还可以完全去除最细微的残留物。但是,采用干化学方法时的蚀刻速率通常比湿法工艺要低。因此,若必须去除较大的层厚度,则通常必须补充采用湿法工艺。

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