等离子扩散

在温度升高的情况下，通过非金属原子的渗入借助 等离子体 对金属表面进行精加工的工艺流程的统称。最重要的示例包括： 等离子渗氮、 等离子氮碳共渗、 等离子渗碳 和 等离子碳氮共渗。表面上形成的氮化物相和碳化物相仅几微米厚，但却比未接受处理的金属硬很多，其下方的 扩散层也仅 100 多微米厚，但却比基础材料要硬很多。