等离子扩散

在温度升高的情况下，通过非金属原子的渗入借助等离子体对金属表面进行精加工的工艺流程的统称。最重要的示例包括：等离子渗氮、等离子氮碳共渗、等离子渗碳和等离子碳氮共渗。表面上形成的氮化物相和碳化物相仅几微米厚，但却比未接受处理的金属硬很多，其下方的扩散层也仅 100 多微米厚，但却比基础材料要硬很多。