真空腔室

通过 真空泵 抽真空的气密性耐压容器，其中残留气体处于低压状态。残留气体可能是由于不可避免的泄漏率而残留的空气，也可能是经计量阀所导入的具有不同特性的气体。很多在标准大气条件下为液态的物质，在极低的压力条件下会呈气态，并作为气体存在于真空腔室中。在真空腔室中可进行各种不同的化学和物理反应，例如： CVD、 PVD方法、蒸镀、 溅射 和所有 低压等离子体工艺（⇒ 等离子体腔室）。