真空腔室

通过 真空泵 抽真空的气密性耐压容器,其中残留气体处于低压状态。残留气体可能是由于不可避免的泄漏率而残留的空气,也可能是经计量阀所导入的具有不同特性的气体。很多在标准大气条件下为液态的物质,在极低的压力条件下会呈气态,并作为气体存在于真空腔室中。在真空腔室中可进行各种不同的化学和物理反应,例如: CVD、 PVD方法、蒸镀、 溅射 和所有 低压等离子体工艺(⇒ 等离子体腔室)。

回到詞彙表

+49 7458 99931-0

与我们的专家通话

info@plasma.com

请写下您的需求

索取报价

您清楚地知道您想要什么