超高纯度 (UHP)

UHP 表示超高纯度 (Ultra High Purity)。此名称 适用于 我们的 等离子设备的玻璃接收器，其可按照客户需要由硼硅玻璃或 石英玻璃 制成。仅以下设备具有 UHP 选装件：Femto、Pico 和 Nano。玻璃腔室可在微波设备中和/或需要一个超洁净表面的应用中使用。普通的不锈钢或铝制腔室，与等离子设备中的所有金属一样，能够以最小量对处理产品进行 溅射时的离子轰击目标。对于大多数工艺流程而言，这并不重要，而且可以忽略不计。UHP 设备中的铝制组件均涂有 AL₂O₃  涂层。