偏置电压

如果一个交流电压供电的 电极 叠加了直流电压分量,则将这种直流电压分量称为偏置电压。在 低压等离子体 中,可利用通过充电产生的 自偏置电压于 离子蚀刻实现各向异性的蚀刻效果。

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