表面技术词汇表

碳化硅

除了二氧化硅以外,碳化硅 SiC 也是一种重要的硅化合物。由于化学相似性,  和 配偶体(分别具有 4 个价电子),会结晶形成具有四面体晶格的金刚石结构。此材料由于其硬度较大而经常被用作磨料。其本身具有半导体特性,但由于热膨胀性较低,故此很早便被用作其他半导体材料的基材。

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