MHz 等离子系统

等离子设备,在其上 等离子体 的激发是通过 MHz 频率范围内的高频电磁辐射实现的。对于技术目的而言,获得批准的频率是 13.56 MHz 频率已得到了批准,该频率还可用于 Diener electronic 的 等离子发生器

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