平均自由行程

气体分子在给定温度和压力的情况下,与其他气体分子发生的两次碰撞期间所历经的平均行程。这非常重要,对于产生 等离子体:如果压力过高(自由行程过小),则 电子离子 无法建立电离碰撞所需的速度,如果压力过低(自由行程过大),则无法进行足够多的电离碰撞,以保持等离子体。此外,平均自由行程对蚀刻工艺流程的各向同性也有巨大影响:压力越高,自由行程就越小,材料去除就越具有各向同性(无方向性)。在大气压 (1000 mbar) 条件下,粒子两次碰撞之间的平均自由行程为大约 10-7 m,在达到高真空极限 (10-3 mbar) 时为 10 cm。

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