气体分子在给定温度和压力的情况下，与其他气体分子发生的两次碰撞期间所历经的平均行程。这非常重要，对于产生 等离子体：如果压力过高（自由行程过小），则 电子和 离子 无法建立电离碰撞所需的速度，如果压力过低（自由行程过大），则无法进行足够多的电离碰撞，以保持等离子体。此外，平均自由行程对蚀刻工艺流程的各向同性也有巨大影响：压力越高，自由行程就越小，材料去除就越具有各向同性（无方向性）。在大气压 (1000 mbar) 条件下，粒子两次碰撞之间的平均自由行程为大约 10-7 m，在达到高真空极限 (10-3 mbar) 时为 10 cm。
