宽高比

宽高比是指微结构的高度/宽度比例。通过 各向异性 等离子蚀刻方法(⇒ 离子蚀刻 IE和 ⇒ 反应性离子蚀刻 (RIE) ,凹槽深度和宽度之间或者脊高度和宽度之间的宽高比较大,可达到 10 或更大。对于 0.2µm 以上的结构宽度,高达 50 及以上的极大宽高比,可通过 LIGA 方法 实现。

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