干式蚀刻方法

有 10 种以上的蚀刻方法。我们总结了以下 4 个主要类别。物理蚀刻、光化学蚀刻、物理-化学蚀刻、慢性蚀刻。采用干式蚀刻方法时,蚀刻时用到了化学反应。

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