真空

技术真空绝对不是一个无任何物质的空间,而是指低压下的气体体积,其特点是物质粒子在与其他粒子发生碰撞之前具有较大的自由行程。在大气压下,直至与其他粒子发生碰撞的平均自由行程仍低于 1 µm 期间,而在低于 10-3 mbar 的精真空条件下,此平均自由行程则超过 10 cm,这意味着,许多粒子在真空腔室的尺寸范围内都不会受到碰撞。 借此, 低压等离子体 的活性种可填满 接收器 的整个容积,而且不会因碰撞导致发生中和或者重组现象。

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