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低压等离子体

低压范围内的等离子处理

低压等离子体提供了非常多的表面改性方法。对脏污组件进行精细清洗、对塑料件进行等离子活化、对 PTFE、硅进行蚀刻,以及对具有 PTFE 类涂层的塑料件进行涂覆,这些是其部分应用用途。就此而言,低压等离子体可应用于各种不同的领域,在这些领域中对材料进行键合或者有针对性地改变表面特性对其来说非常重要。

 

低压等离子设备

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低压等离子设备是如何构造的,以及其是如何工作的?

在低压等离子体技术中,通过提供能量激发真空中的气体。这会产生高能量的离子和电子,以及其他活性粒子,并形成等离子体。从而极其有效的使表面发生改变。共分为三种等离子效应:

微喷砂

通过离子轰击去除表面。

化学反应

电离气体与表面发生化学反应。

紫外线辐射

通过紫外线辐射断开长链碳化合物。

通过 改变 工艺参数如 压力、 功率、 工艺时间、 气体流量 和 气体成分 ,等离子体的 作用方式 也会随之发生改变。这样,便可以在一个单独的工艺步骤中实现 多种 效果。

等离子体可 去除 表面的脱模剂(包括 硅酮 和油)。其会受到例如氧气的 化学 腐蚀,并 转化 为 挥发性化合物。通过负压和表面加热,脱模剂及其残余物会部分 蒸发 。通过等离子体中的 高能量 粒子, 脱模剂分子 会裂解为更小的 分子碎片 ,并借此被 抽吸出来。此外,还会在 原子 层上产生 “微辐射效应” 。 紫外线辐射 可以裂解脱模剂。

无论是 新 生产还是 存积 的产品,大多都存在 不可见的沉积物 ,例如:油脂、油、硅酮、水分或 氧化层。为了能够 毫无问题地 对表面进行涂覆,必须确保 不含 LABS (LABS = LAck Beschichtungs Störende,油漆润湿缺陷物质),通过 等离子清洗 可以实现这一点。

典型工艺参数的示例

功率:500 瓦,工艺腔室容积:100 升,工艺气体:空气或氧气,压力:0.2 - 0.6 mbar,持续时间:1 - 5 分钟

可提供多种工艺气体 (例如:空气、氧气、氩气、氩氢混合气、四氟甲烷与氧气的混合气)和化学品 (例如:六甲基二硅氧烷、乙酸乙烯酯、丙酮、含氟化学品)。

但是,基本上需注意以下几点: 工艺知识 是 至关重要的。等离子体必须与 材料相匹配,以便能够有针对性的调节 所有需要的 效果 。

  • icon 成分

    成分

  • icon  产品载体

    产品载体

  • icon  真空室

    真空室

  • icon  角阀

    角阀

  • icon 气瓶

    气瓶

  • icon 阀门(针阀NV)、质量流量控制器(MFC))

    阀门(针阀NV)、质量流量控制器(MFC))

  • icon 电极

    电极

  • icon 电极

    电极

  • Icon 真空泵

    真空泵

  • Icon 高頻發生器

    高頻發生器

FAQ 常见问题

处理后可以触摸这些部件吗?

是的,是安全的——我们建议谨慎操作并佩戴手套,以避免污染。因为等离子体虽然能去除有机污染物,但无法去除无机污染物。 例如,指纹上的汗液中就含有盐分(无机杂质)。

经过处理的零件应如何存放?

经过等离子处理后,建议不要将零件露天存放,因为它们会吸附灰尘、有机污染物和空气中的湿气。 

与露天存放相比,真空包装的零件保质期要长得多。

我们承接的加工委托业务中,所处理的零件均会与客户密切协商后进行包装,例如使用经过检测的无硅聚乙烯(PE)袋、防静电(ESD)包装,或客户提供的定制包装材料。

活化后的部件在进行后续加工前可以存放多长时间?

部件的存放时间取决于活化时间及材料类型,范围从几分钟到数月不等。因此,通常还需要在现场进行试验。

金属、陶瓷、玻璃和弹性体: 几小时
塑料(弹性体除外):数天、数周、数月

哪些单体不能使用?

由于具有强烈的毒性,严禁将含卤素气体和单体(F2、Cl2、Br2、I)与大气等离子体一起使用!

能透过观察窗看到里面吗?

是的,根据材料的不同,可以观察真空室内部的情况。

运行过程中可以打开腔室门吗?

在正常情况下不会,因为真空产生的负压会将门吸附在腔体外壳上。

可以去除哪些杂质?

Diener electronic 的等离子设备可清除所有尺寸小于约 1 微米的有机薄膜污染物。

能否清除部件表面的金属切屑或灰尘?

很遗憾,无法清除表面上的金属屑或灰尘。

低压等离子体还是大气压等离子体,哪种方案更优?

对于Diener electronic的表面处理,不存在“好与坏”之分,而是“适合或不适合该应用”。

请参阅我们的优缺点对照表

哪种真空室/真空发生器最适合我的应用?

Diener electronic 将根据具体需求提供合适的真空腔室/真空发生器。

贵公司在大气压和低压环境下用于等离子体表面处理的设备、装置和系统,与其他市场竞争对手相比有何不同?

Diener electronic的等离子表面处理设备和系统与市场上的同类产品相比,具有以下区别: 

  • 凭借技术可靠性,我们在客户的各种生产环境中积累了超过20年的AD经验和30年的ND经验
  • 已安装的设备数量达数千套
  • 结构紧凑
  • PC型号支持现代通信协议,如Profinet、EtherCat等

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我们很乐意为您提供帮助。您可以轻松使用我们的联系表单;或者直接通过电子邮件或电话与我们联系。

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