低压等离子设备是如何构造的,以及其是如何工作的?
在低压等离子体技术中,通过提供能量激发真空中的气体。这会产生高能量的离子和电子,以及其他活性粒子,并形成等离子体。从而极其有效的使表面发生改变。共分为三种等离子效应:
通过 改变 工艺参数如 压力、 功率、 工艺时间、 气体流量 和 气体成分 ,等离子体的 作用方式 也会随之发生改变。这样,便可以在一个单独的工艺步骤中实现 多种 效果。
等离子体可 去除 表面的脱模剂(包括 硅酮 和油)。其会受到例如氧气的 化学 腐蚀,并 转化 为 挥发性化合物。通过负压和表面加热,脱模剂及其残余物会部分 蒸发 。通过等离子体中的 高能量 粒子, 脱模剂分子 会裂解为更小的 分子碎片 ,并借此被 抽吸出来。此外,还会在 原子 层上产生 “微辐射效应” 。 紫外线辐射 可以裂解脱模剂。
无论是 新 生产还是 存积 的产品,大多都存在 不可见的沉积物 ,例如:油脂、油、硅酮、水分或 氧化层。为了能够 毫无问题地 对表面进行涂覆,必须确保 不含 LABS (LABS = LAck Beschichtungs Störende,油漆润湿缺陷物质),通过 等离子清洗 可以实现这一点。