您有任何问题吗?

联系表单

自偏置

一种电容性去耦(通过电容器与 发生器 断开)的高频电极,其以  MHz范围内的高频率运行,其在 低压等离子体 中可带上负电。较重的正 离子 太不活跃,其不会跟随交变场的高频率,但是较轻的 电子 则可以毫无问题的做到这一点。这样,工作电极会逐渐带上负电荷,因为电子由于电容性去耦的原因无法流散。这样便可以构成 偏置电压 ,由此使正离子加速到带负电的 电极 上。若将一个基材放到该带负电的电极上,则会通过离子对其进行轰击。该效应用于 离子蚀刻 (物理蚀刻)。

您有任何问题吗?

我们很乐意为您提供帮助。您可以轻松使用我们的联系表单;或者直接通过电子邮件或电话与我们联系。

3M Science Dyneon Referenzen ADC Referenzen Industrie Adelhelm Referenzen Industrie AEG Referenzen Elektronik AGA Referenzen Industrie Agilent Refernzen Elektronik Airbus Referenzen Aerospace AIST Referenzen Wissenschaft AKG Refernzen Elektronik Alcantara Referenzen Industrie Alcan Referenzen Industrie Alcatel Lucent Referenzen Industrie Alstom Referenzen Industrie Kemet Refrenzen Elektronik Asahi Referenzen Industrie ase korea refernzen elektronik ATV Referenzen Industrie Austrian Research Centers Referenzen Wissenschaft Axair Referenzen Elekrtonik Axio Referenzen Industrie Azurspace Referenzen Aerospace Bae Systems Referenzen Aersospace Baluff Referenzen Elektronik Bando Referenzen Industrie Barllan Uni Referenzen Wissenschaft Bartec Referenzen Industrie Battelle Referenzen Wissenschaft Bayer Referenzen Industrie bedea refernzen elektronik Bejing jia run power Referenzen Industrie Ben Gurion Uni Referenzen WIssenschaft Bergmannsheil Referenzen Wissenschaften Binder band Referenzen Industrie biotesys Referenzen Industrie Biotronik Referenzen Industrie BMW Referenzen Automotive und Zulieferer,Industrie Bosch Referenzen Automotive und Zulieferer B Braun Referenzen Medizin