自偏置

一种电容性去耦(通过电容器与 发生器 断开)的高频电极,其以  MHz范围内的高频率运行,其在 低压等离子体 中可带上负电。较重的正 离子 太不活跃,其不会跟随交变场的高频率,但是较轻的 电子 则可以毫无问题的做到这一点。这样,工作电极会逐渐带上负电荷,因为电子由于电容性去耦的原因无法流散。这样便可以构成 偏置电压 ,由此使正离子加速到带负电的 电极 上。若将一个基材放到该带负电的电极上,则会通过离子对其进行轰击。该效应用于 离子蚀刻 (物理蚀刻)。

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