自偏置

一种电容性去耦（通过电容器与 发生器 断开）的高频电极，其以  MHz范围内的高频率运行，其在 低压等离子体 中可带上负电。较重的正 离子 太不活跃，其不会跟随交变场的高频率，但是较轻的 电子 则可以毫无问题的做到这一点。这样，工作电极会逐渐带上负电荷，因为电子由于电容性去耦的原因无法流散。这样便可以构成 偏置电压 ，由此使正离子加速到带负电的 电极 上。若将一个基材放到该带负电的电极上，则会通过离子对其进行轰击。该效应用于 离子蚀刻 （物理蚀刻）。