氮化钛

氮化钛 TiN 是一种常用的高硬度表面涂层,其用于提高工具(特别是金属加工工具)的硬度和耐用性。氮化钛层的特点是具有金黄色的颜色。由于很难通过烧结来产生,故此极少生产实心氮化钛材质的组件。可通过多种方法来生产 TiN:

  • 钛可以在氢气/氮气大气环境下直接进行等离子渗氮。
  • TiN 涂层可通过 等离子涂覆 在四氯化钛、氢气和氮气组成的大气环境下形成,反应产物除了 TiN 之外还有盐酸。
  • 薄涂层可以采用 PVD 方法 通过 溅射 来产生。 工艺气体 是氮气/氩气混合物。作为 靶材 将使用钛板。钛原子通过氩离子轰击被释放,并与来自工艺气体的氮原子一同沉积在基材上。

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