保护层
敏感性基材上的涂层，尤其用于保护其免受机械损坏、化学作用或者气候影响，包括防止受到辐射。诸多此类保护层可通过 等离子体技术 进行涂覆。特别是为了使塑料表面具有防刮性能，可涂覆 DLC -层。通过 等离子体聚合 尤其是可以将整个电子电路覆盖一层保护层，特别是用于保护其免受湿气或氧化的影响。作为电子电路的保护涂层，聚对二甲苯涂层发挥着日益重要的作用。金属本身就有一层保护层，该保护层很薄，但确是坚硬且稳定的氧化层。此类氧化层还可以通过在空气等离子体或氧气等离子体中的氧化进行针对性的涂覆。另一方面，还可以通过在氢气等离子体中进行 等离子处理 将金属上的氧化层除去（参见 ⇒ 等离子清洗）。
