表面技术词汇表
PlasmaBeam
PlasmaBeam 是 Diener electronic 的产品系列,专用于在大气压下进行 表面处理 。
Plasmabeam 设备包含一个 供给单元 (配有 高电压发生器)、一个 等离子发生器 (配有 等离子喷嘴 )和一个软管管路,用于供给 高电压 和 工艺气体。该 等离子体 可通过 气体放电 在气体射流中被点燃,并与气体射流一起经 等离子喷嘴 被吹出。通过各种类型的喷嘴,可以按照具体应用实现优化。等离子喷嘴可通过机器人进行引导。通过在自由大气环境下进行处理,可实现连续的 等离子处理 工序步骤(内联)。PlasmaBeam 的主要应用用途是活化。也可应用于清洗和某些涂覆方法。作为 工艺气体 通常使用经清洗和干燥的空气,也可以使用 N2、O2 或 N2H2 。