等离子应用

通过 等离子处理 ,基本上可以进行能够想到的所有类型的表面处理或表面改性。
有时候,等离子处理和传统的机械和湿式化学处理方法存在竞争。在这些情况下,虽然传统方法的处理速度(例如:蚀刻速率)往往较高,但是等离子方法能够以原子层的精度工作,并且还能够在最狭窄的间隙和空腔中发挥作用。等离子处理的一大优点还在于,无需进行通常会产生问题的有毒化学品处理。
有时候,通过等离子处理还能够获得通过传统方法无法实现的效果,例如各向异性 蚀刻和各种 表面涂层

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