石英玻璃

石英玻璃是一种纯二氧化硅 (SiO2) 材质的高纯度玻璃。对于某些蚀刻工艺流程而言,将不锈钢用作 接收器 的材料无法具有足够的耐受性。在这种情况下,等离子体腔室也可以为石英玻璃材质,其几乎能够抵抗任何一种类型的蚀刻腐蚀。一般情况下,等离子体腔室的窗口是石英玻璃材质的,而如果存在不锈钢材质接收器抗受性不足的情况,则载玻片也可以为石英玻璃材质。 硅晶片 将被存放到石英玻璃舟皿中进行蚀刻。

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