石英玻璃

石英玻璃是一种纯二氧化硅 (SiO₂) 材质的高纯度玻璃。对于某些蚀刻工艺流程而言，将不锈钢用作 接收器 的材料无法具有足够的耐受性。在这种情况下，等离子体腔室也可以为石英玻璃材质，其几乎能够抵抗任何一种类型的蚀刻腐蚀。一般情况下，等离子体腔室的窗口是石英玻璃材质的，而如果存在不锈钢材质接收器抗受性不足的情况，则载玻片也可以为石英玻璃材质。 硅晶片 将被存放到石英玻璃舟皿中进行蚀刻。