表面改性

通过等离子体技术可以实现的一种最重要的表面改性是 ⇒表面张力的改变通过蚀刻获得的表面处理效果是非常重要的:

  • 通过化学 等离子蚀刻 或者通过 微喷砂 可增大表面积,并从而进一步改善粘附特性
  • 通过各向异性蚀刻(⇒离子蚀刻, ⇒RIE)可以在半导体电子领域中进行结构化。

通过 等离子涂覆 可使表面具有新特性:

  • 例如:电子电路上的保护层
  • 防刮 DLC-层,例如: CD
  • 耐磨的传动组件
  • 防水 PTFE 或 HMDSO 涂层

表面活化的方法视频

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