表面改性

通过等离子体技术可以实现的一种最重要的表面改性是 ⇒表面张力的改变通过蚀刻获得的表面处理效果是非常重要的：

• 通过化学 等离子蚀刻 或者通过 微喷砂 可增大表面积，并从而进一步改善粘附特性
• 通过各向异性蚀刻（⇒离子蚀刻， ⇒RIE）可以在半导体电子领域中进行结构化。

通过 等离子涂覆 可使表面具有新特性：

• 例如：电子电路上的保护层
• 防刮 DLC-层，例如： CD
• 耐磨的传动组件
• 防水 PTFE 或 HMDSO 涂层