光刻胶灰化

在 印刷电路板加工采用 光刻 方法来进行时， 等离子体技术 起到了重要的作用。在布置好导体电路后，必须选择性去除 光刻胶层。在现有技术中，这将通过 等离子蚀刻 实现。在这种情况下， 光刻胶 会分解（灰化）成气态分解产物，这些产物会被 真空泵 抽吸出这些气态分子。对于合理处理而言，较高的处理速度是非常重要的。一个 等离子剥离机 或者 等离子灰化机 对这种应用而言是最佳的 等离子设备。