层厚度测量
在涂覆工艺流程中,层厚度是核心问题。等离子涂覆装置在纳米 [nm] 到较低微米 [µm] 的范围内移动。为了确定工艺流程或保证质量,我们“用触觉”测量层厚度:
在涂覆工艺流程期间,一起涂覆相同批次的测试玻璃。通过 掩膜只能对部分测试玻璃进行涂覆:此工艺流程结束后,移除掩膜并在已涂覆 和未涂覆的 测试玻璃之间保留一个干净的台阶。
此时,在 Veeco 公司自制的 DEKTAK 150 上,一根金刚石针将会自动驶过台阶并测量所达到的层厚度。分辨率范围开始于大约 0.5 nm,结束于大约 200 μm。
层厚度测量的另一个用途是保证聚对二甲苯涂层的质量。聚对二甲苯涂层的特性主要取决于层厚度。
当然了,除了涂覆工艺流程,在蚀刻工艺流程中也会应用相同的测量。通过这种方法,可以确定蚀刻速率或者测量等离子设备中的均匀性/分布。