铝制真空腔室

独特、灵活的腔室系统

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我们 Diener electronic GmbH + Co. KG 公司,至今生产真空系统已有 25 年之久。在此期间,我们在真空技术领域积累了大量经验知识。我们会将这些累积的知识融入到我们当今的产品中,以不断改良我们的产品。我们还会对“始终如此”的事情进行寻根究底,例如真空腔室的传统结构。

由此获得了一个以铝制-挤压型材为基础的独特灵活的腔室系统。将三米长的型材切割成所需的长度,并装配一个用螺丝拧紧的后板和一扇门。在型材的侧板中已有凹槽,可轻松将产品支架推入其中。

型号 1

长度:300 mm 或 600 mm,宽度:110 mm,高度:120 mm,接口:3 KF 16

模型 1:技术图纸

型号 2

长度:325 mm 或 600 mm,宽度:150 mm,高度:160 mm,接口:4 KF 16 和 1 KF 40

模型 2:技术图纸

型号 3

长度:420 或 600 mm,宽度:240 mm,高度:240 mm,接口:2 KF 16 和 3 KF 40

模型 3:技术图纸

型号 4

长度:370 mm 或 620 mm,宽度:305 mm,高度:300 mm,接口:1 KF 16 和 5 KF 40

模型 4:技术图纸

型号 5

长度:300 mm 或 650 mm,宽度:572 mm,高度:125 mm,1 KF 16 和 4 KF 40

模型 5:技术图纸

型号 6

宽度:400 mm,高度:600 mm,长度:625 mm

模型 6:技术图纸

型号 7

外径:700 mm,内径:640mm

模型 7: 技术图纸

本系统具有非常大的优势

✓ 长度灵活,可达 3 米
✓ 交货时间非常快,
因为只需要补充门和后板 
✓ 价格合适
✓ 重量轻
✓ 无需复杂的产品支架 安装操作
✓ 可以通过阳极氧化获得所需的颜色
✓ 导热性非常好
✓ 工艺流程非常洁净,例如:在半导体区域内 
✓ 加工简单
✓ 无需焊接,即可轻松安装部件
✓ 可以轻松固定到现有的连接片上

下面列示了可提供的型材类型及其尺寸。根据需要,也可以只购买型材。 

根据需要提供的选装件:腔室侧面的附加法兰、加热装置、门开关、特殊长度

    真空腔室

    不锈钢、铝和玻璃腔室

    真空腔室是一个密闭的容器,是每个真空设备的基础。Diener electronic 使用了三种不同类型的真空腔室:不锈钢材质的真空腔室、铝材质的真空腔室和玻璃材质的真空腔室。 针对每个应用,都会检查哪个真空腔室最为合适。 由此,我们便能够始终为我们的客户提供具有合适真空腔室的最佳解决方案。 

    玻璃(硼硅或石英)材质的真空腔室

    硼硅玻璃材质的真空腔室适用于高纯度等离子工艺流程。石英玻璃材质的真空腔室适用于超高纯度等离子工艺流程。

    不锈钢材质的真空腔室

    不锈钢材质的真空腔室适用于标准等离子工艺流程。

    特殊真空腔室

    按照 DIN 12198 标准,在我们的设备(观察窗)上进行了紫外线辐射强度测量。结果:毋庸置疑。特殊真空腔室具有圆形配盖子的结构,以及矩形配门(门配有铰链)的结构,其为铝制结构,还可以通过开孔直径和内部大小来进行区分。请和我们联系。

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