等离子工艺流程

概况了四种基本的 等离子工艺流程：

• 清洗：
  通过去除表面涂层
• 活化：
  通过在非极性基材上形成极性基团
• 蚀刻：
  通过去除基材材料
• 涂覆：
  通过 聚合 分子（ 工艺气体）