控制系统

设置用于执行 等离子工艺流程的参数
特别是:

  • 开启泵
  • 工艺气体输送
  • 时间设置
  • 功率设置
  • 发生器启动
  • 冲洗
  • 通风

针对 Diener electronic 的等离子设备提供有以下控制系统,可选择用于任何设备型号:

  1. 手动(半自动)控制系统:
    工艺参数和切换操作由操作员手动模拟设置
  2. 自动控制系统
    按下启动按钮后,工艺流程将实现最佳的全自动控制。
  3. 通过 MS Windows 控制的 PC 控制系统
    可对工艺流程进行编程和保存。
    可对工艺流程进行保存和记录。
  4. PCCE-控制系统:
    通过含屏幕菜单的 Windows CE 实现控制的触摸屏控制系统

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