表面技术词汇表
控制系统
设置用于执行 等离子工艺流程的参数。
特别是:
- 开启泵
- 工艺气体输送
- 时间设置
- 功率设置
- 发生器启动
- 冲洗
- 通风
针对 Diener electronic 的等离子设备提供有以下控制系统,可选择用于任何设备型号:
- 手动(半自动)控制系统:
工艺参数和切换操作由操作员手动模拟设置 - 自动控制系统
按下启动按钮后,工艺流程将实现最佳的全自动控制。 - 通过 MS Windows 控制的 PC 控制系统
可对工艺流程进行编程和保存。
可对工艺流程进行保存和记录。 - Basic PC-控制系统:
通过含屏幕菜单的 Windows CE 实现控制的触摸屏控制系统