聚四氟乙烯 (PTFE) 蚀刻

聚四氟乙烯 （PTFE，特氟龙）基本无法进行化学处理，因为其对几乎所有化学品的腐蚀都呈惰性。唯一的例外便是碱金属溶液，其能够通过形成碱金属氟化物对 PTFE 表面进行蚀刻。 一种很好的替代方法便是 等离子处理于 低压等离子体 中使用 氢 作为 工艺气体来实现。期间，氢自由基会和 PTFE 的 氟 反应生成氟化氢，并留下不饱和碳键，这是用于积聚液体分子的很好的粘附位置。该 等离子蚀刻 会使 PTFE 具有良好的粘合性，但是这需要很好的工艺流程控制。在蚀刻工艺流程中，PTFE 表面的颜色会从几乎白色变为褐色。对 PTFE 进行等离子蚀刻时，可以避免强腐蚀性碱溶液的处理问题。在低压等离子体中对 PTFE 进行蚀刻也被称为 PTFE 活化 。