表面技术词汇表

低温等离子体

在自然界(星星、闪电)中, 等离子体 总是伴随着极高的温度。高温是通过电流而产生的,也会在 产生等离子体时气体放电产生。如果 气体 通过电磁高频场发生电离,则等离子体会保持低温或者仅稍微加热。低温等离子体中,仅自由电子才是“热”的,这些自由电子可通过其较低的质量遵循高频场的频率。较重的 原子离子自由基 对其而言速度过慢,所以在高频激发的时候,其由温度所决定的运动几乎不发生变化。

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