清洗源

在实践中一再发生以下情况：这些泵在等离子体应用期间被液体残留物所污染，从而造成真空泵的功能受限。

由 Diener electronic 公司所研发和生产，并且已申请了专利的等离子体清洗源，是一种真空泵的保护装置，其可以对空腔进行清洗。