清洗源

DIENER ELECTRONIC 公司的等离子体清洗源

等离子体清洗源是干运行真空泵(例如:罗茨泵或者螺杆泵)的可选性废气清洗装置针对不同的等离子设备,提供有匹配的干运行真空泵,例如:罗茨泵或者螺杆泵,以执行相应的等离子工艺流程。

在实践中一再发生以下情况:这些泵在等离子体应用期间被液体残留物所污染,从而造成真空泵的功能受限。

由 Diener electronic 公司所研发和生产,并且已申请了专利的等离子体清洗源,是一种真空泵的保护装置,其可以对空腔进行清洗。

等离子体清洗源主要由一个工艺气体进气口和至空腔的排气口,以及一个位于空腔内或旁边用于生成等离子体的电极所组成。可随时去除空腔中的沉积物,或者可以从一开始便避免产生沉积物。这样可以确保真空泵的使用寿命较长

 

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