平行板反应器

也被称为平面反应器。反应器中的电极分布是控制等离子工艺流程的参数之一。平行板反应器可应用于 LF (40 kHz)- 或 RF (13.56 MHz)-范围内的高频激发。这些 电极 如同在平板电容器中一样,是平行分布的。通常情况下, 发生器的电位紧靠其中的一个电极,另一个电极接地。平板之间的电场,以及等离子体也借此在很大程度上是均匀的,而且垂直于平板。如果需要利用基材上的 离子轰击作用进行 离子蚀刻 ,则平行板分布是特别有帮助的,因为离子加速平行于电场,并借此垂直于工作电极。

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