Nano

低压等离子设备(等离子清洗器)

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Nano 等离子系统可以组合成不同的派生型,例如组合成模块系统。下面是能够与 Nano 等离子系统组合使用的最常见选装件概览:Nano 等离子系统主要应用于以下领域: 

分析、 考古、汽车、研究和开发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、医疗技术、微系统技术、传感技术、灭菌、纺织技术

技术数据

基本装备

  •     根据具体组件/选装件,外壳规格会有所不同
  •     腔室容积:根据具体版本 18 - 36 升
  •     供电电源:台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位

气体供给

  • 针型阀
  • 质量流量控制器 (MFC)

真空腔室

  • 圆形不锈钢,带盖(约 ∅ 267 mm,长 420 mm 或长 600 mm)或
  • 矩形不锈钢,带铰链的门(约宽 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或 600 mm)
  • 矩形铝材,带铰链的门(约 ∅ 240 mm x 240 mm,长 420 mm 或长 600 mm)
  • 圆形石英玻璃 (UHP),配有盖子或者带铰链的门(约 ∅ 240 mm,长 400 mm 或长 600 mm)
  • 圆形硼硅玻璃 (UHP),配有盖子或者带铰链的门(约 ∅ 240 mm,长 400 mm 或长 600 mm)

装载件

  • 产品支架(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

电极

  •     单层或多层
  •     RIE

控制系统

  •     半自动型
  •     PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)
  •     PC 控制系统 (Microsoft Windows 10 IoT)
  •     旋转开关

压力测量

  •     Pirani
  •     电容式压力计(适用于腐蚀性气体版本)

计时器

  • 数字

发生器

频率:    

  • 100 kHz:功率 500 W
  • 80 kHz:功率 1000 W
  • 13.56 MHz:功率 0 - 100 W;0 - 300 W
  • 2.45 GHz:功率 0 - 600 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型 

真空泵

  • 不同规格,来自不同制造商(根据需要配备活性炭过滤器)

其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。

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