低壓等離子體等离子设备 Nano

Q: 使用Nano系统进行涂覆时，每次能涂覆多少？

借助Diener electronic公司的Nano系统，可实现低至微米级（&lt; 1微米）的涂层沉积。

Q: Nano中可以使用哪些气体？

在Nano中以及一般低压等离子体中，可使用以下气体：O₂、N₂、Ar、室内空气、CO₂、H₂O蒸汽和甲烷气

Q: Nano是否需要排气过滤器？

是的，无论使用何种燃气，所有设备都必须连接到有效的排气系统。 这些设备会产生氮氧化物、废气、细微的油雾（对于燃油泵而言）等，这些物质绝不能吸入；此外，这些气体通常呈酸性，因此会加速周围部件、机器和设备的锈蚀。

Q: 对静电敏感的元件可以使用Nano进行处理吗？

是的，使用Nano的低压等离子体可以实现这一点。如有需要，我们的工艺部门可为您进行测试。

Q: Nano的真空室中，通常具有什么样的典型压力范围？

该Nano的典型压力范围为可调的0.1至1.0毫巴，具体取决于所设定的低压等离子体工艺。

Q: Nano在真空室中的典型工艺温度是多少？

Diener electronic 的 Nano 通常在室温至约 80 °C 范围内运行——具体温度取决于组件、腔室类型、工艺时间和装载量。如需更高温度，可向 Diener electronic 提出申请，通过加热元件实现。

Q: Nano这款GHz设备的工作频率是多少？

GHz系统Nano的发电机使用2.45 MHz的ISM频段——其辐射强度与微波炉相当。请咨询有关心脏起搏器佩戴者的安全规定。

适用于实验室和工业领域的灵活等离子系统

等离子设备 Nano 拥有 18 - 24 升的腔室容积，可实现灵活的等离子表面处理。它将模块化等离子系统的灵活性与工业设备的强大性能相结合。

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适用于高要求应用的等离子设备

根据具体应用需求，Nano等离子系统既可设计为台式设备，也可设计为立式设备。因此，在集成到现有工作环境中时，它能提供最大的灵活性。

Nano 的腔室容积为 18 - 24，适用于中等尺寸的工件以及各种工艺要求。可选的控制方案包括半自动、Low Cost PC、基础PC和全功能PC，从而能够根据具体需求灵活调整操作便利性和工艺范围。

若采用全PC控制，该设备可轻松集成到制造执行系统（MES）中。工艺数据将被记录并归档，从而确保完整的可追溯性和高度的工艺安全性。

Nano 广泛应用于众多行业——从分析检测、半导体技术到医疗、塑料和微系统技术。在研发部门以及汽车领域，它也凭借其多样的应用可能性而备受青睐。

清潔

低壓等離子體系統 Nano 提供適用於所有表面、各種基材及後處理工序的精密清潔解決方案。等離子清潔技術能徹底清除所有有機殘留物，且不會對元件造成化學或熱應力。

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活化

在噴漆、黏合、印刷或 bonding 過程中，要使結合夥伴產生作用，表面必須具備良好的潤濕性。低壓等離子體設備 Nano 所進行的等離子活化處理，能形成極性結合夥伴並提高表面能。

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鍍膜

低壓等離子體設備 Nano 亦可透過鍍膜來改性表面。在等離子鍍膜過程中，可沉積各類疏水、親水、保護或絕緣層。

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蝕刻

低壓等離子體設備 Nano 所採用的等離子體技術，可進行各向異性與各向同性蝕刻。藉此可在表面形成奈米結構，以增大表面積並提升附著力。

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18 - 24升腔室

Nano等离子设备配备了18 - 24容积的处理室，非常适合处理工业领域的复杂部件。对于要求高纯度的应用，可提供硼硅酸盐玻璃或石英玻璃制成的处理室。这些腔室具有出色的耐化学腐蚀性，可确保高工艺纯度，特别适用于医疗技术或实验室工作。针对工业应用，我们提供不锈钢或铝制腔室，可确保工业工艺特别安全且稳定。对于特定应用，还可选择旋转鼓式腔室，以确保处理过程均匀一致。

模块化组装系统

等离子设备 Nano 采用模块化系统进行灵活设计，该系统由 Diener electronic 基于多年经验和经过验证的设计理念开发而成。为了便于将其轻松集成到现有生产环境中，等离子设备Nano可采用紧凑型台式机箱或稳固的立式机箱进行制造。将根据腔室尺寸选择合适的机箱及控制元件。最终可为具有高要求应用场景的工业领域提供量身定制的生产设备。

工业4.0

为满足“工业4.0”日益增长的需求，Diener electronic 为 Nano 等离子设备提供了可选的自动门配置。这使得该等离子系统能够快速集成到制造执行系统（MES）中，并最佳地融入自动化生产线。自动装卸功能减少了人工干预，从而提高了工艺可靠性，并确保了工艺的可重复性。通过自动化，Nano等离子设备可确保高效的质量控制。

控制

Nano 台式设备的紧凑型设计提供了 LowCost、Basic PC 以及操作直观的半自动控制三种选择。在半自动控制模式下，工艺参数可手动调节，因此操作无需任何专业知识。对于工业应用而言，配备预设工艺流程的简易Low Cost或基础型PC控制系统的坚固立式机箱是最佳选择。对于要求较高的生产环境，Nano等离子设备可选配全PC控制系统。该系统支持工艺存档、报警列表及网络连接功能。工艺的透明度及其可追溯性，为高效且经济的生产奠定了基础。