Nano

• 圆形不锈钢，带盖（约 ∅ 267 mm，长 420 mm 或长 600 mm）或
• 矩形不锈钢，带铰链的门（约宽 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或 600 mm）
• 矩形铝材，带铰链的门（约 ∅ 240 mm x 240 mm，长 420 mm 或长 600 mm）
• 圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 240 mm，长 400 mm 或长 600 mm）
• 圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ∅ 240 mm，长 400 mm 或长 600 mm）

• 产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

•     单层或多层
•     RIE

•     半自动型
•     Basic PC 控制系统 (Microsoft Windows CE)
•     Full PC 控制系统 (Microsoft Windows 10 IoT)

•     Pirani
•     电容式压力计（适用于腐蚀性气体版本）

• 数字

频率：    

• 100 kHz：功率 500 W
• 80 kHz：功率 1000 W
• 13.56 MHz：功率 0 - 100 W；0 - 300 W
• 2.45 GHz：功率 0 - 600 W

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型 

• 不同规格，来自不同制造商（根据需要配备活性炭过滤器）

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。