发生器

在 等离子体技术 中，针对为激发 等离子体 提供电压（通常为交流电压）的装置，我们将其称为发生器。根据产生的交流电压的频率，我们将发生器区分为低频发生器 (40kHz)、射频发生器 (13.56/27.12 MHz) 和微波发生器 (2.45 GHz）。