发生器

等离子体技术 中,针对为激发 等离子体 提供电压(通常为交流电压)的装置,我们将其称为发生器。根据产生的交流电压的频率,我们将发生器区分为低频发生器 (40kHz)、射频发生器 (13.56/27.12 MHz) 和微波发生器 (2.45 GHz)。

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