Tetra 320R

低压等离子设备(等离子清洗器)

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生产设备  Tetra 320R  具有 320 升的腔室容积,并配有 PC 控制系统,可用于 批量生产(清洗、蚀刻和活化):

技术数据

开关柜: 宽 870 mm,高(带支脚) 1860 mm,深 1400 mm

腔室: ∅ 640 mm,深 1000 mm

腔室容积: 约 320 升

气体供给: 通过 MFC 控制的 2 个气体通道

发生器: 1 个 (80 kHz/ 300 Watt)

控制系统: PC 控制系统 (Windows)

部件支架: 根据客户需求

+49 7458 99931-0

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