低壓等離子體等离子系统 Tetra 320R
配备圆形真空室的工业等离子设备
Tetra 320R 低压等离子系统专为需要圆形真空腔体才能发挥显著优势的应用而设计。 该设备腔室容积为 322 升，非常适合处理圆柱形、旋转对称或特殊形状的工件。
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专为特殊部件几何形状设计
Tetra 320R等离子处理设备配备了一个圆形真空腔室。这种结构设计特别适用于那些在传统的矩形工艺腔室中难以充分处理的工件。 该设备腔室容积为 322 升，为大型部件和几何形状复杂的部件提供了充足的空间。
该设备配备全PC控制系统，可便捷地管理所有工艺参数。工艺数据可被存储、归档和记录。通过可选的MES接口，该等离子系统可集成到现有的生产和质量保证系统中。
Tetra 320R 适用于各种材料的等离子清洗、表面活化、等离子蚀刻和功能性涂层。它可帮助企业实现具有高工艺可靠性的可重复表面处理工艺。
活化
在噴漆、黏合、印刷或 bonding 過程中，要使結合夥伴產生作用，表面必須具備良好的潤濕性。低壓等離子體 設備 Tetra 320R 所進行的等離子活化處理，能形成極性結合夥伴並提高表面能。
更多信息
322升 腔室
低壓等離子體 系列 Tetra 320R 设备配备了容积达 322 升的大型处理腔，非常适合处理工业领域的大型零部件。该设备采用圆形铝制处理腔，可确保工业工艺过程的安全性和稳定性。 宽敞的腔室尺寸可同时处理复杂或多个工件，因此Tetra 320R非常适合工业生产流程和批量应用。得益于腔室的圆形设计，Tetra 320R等离子设备可为各种应用提供多种处理方案。
电极
随着技术的进步，需求也在不断提高。选择Diener electronic，企业将受益于极高的投资安全性，因为低壓等離子體 Tetra 320R设备能够随着未来需求的发展而不断升级。 灵活的模块化系统使得在设计 Tetra 320R 时，可根据具体用途在单层和多层电极之间进行选择。 对于在腔室内占据较大空间的复杂大型部件，建议选用能确保均匀处理的电极。对于将分置于多层的小型部件，则可安装多层电极或旋转鼓式电极，以确保在任何应用情况下都能实现均匀处理。
控制
对于要求严苛的工业生产环境，配备运行Windows IoT操作系统的全功能PC作为等离子系统Tetra 320R的控制单元是最佳选择。这确保了工艺数据归档、报警列表、远程诊断及网络连接功能。 工艺的透明度及其可追溯性为高效且经济的生产奠定了基础。多种硬件配置为各类工艺流程提供了最大的灵活空间。通过 PI/PID 压力控制器可实现压力稳定，从而确保工艺流程在任何时候都能精确可重复。 借助全PC控制系统，正在运行的工艺流程得以更全面、更详细且更快速地呈现。
技术数据
外壳尺寸
立式
控制装置
Full PC (Windows 11 IoT Enterprise)
真空室
铝, 铰链门
⌀ 640 mm x
深 1000 mm; 卷 约 322 升
可选: 深度可灵活扩展，最大可达3000毫米
发电机
80.00 千赫 | 功率输出 0 - 1000 W
供气
MFC (Mass flow controller)
电极
单层电极
多层电极
RIE 电极
压力测量
皮拉尼传感器
容积式压力表
电源
400 V | 16 - 125 A
保留技术变更权利。
FAQ 常见问题
如何测量等离子体活化程度？
接触角/边缘
角 接触角是指观察静止液滴在固体表面的投影时，液滴轮廓的切线与固体表面在三相点处所形成的角度。 根据物理学定义，接触角小于90°的表面为亲水性（可润湿），大于90°的表面为疏水性（不可润湿）。通过等离子处理可以改变接触角（增大或减小）。 通过适当的等离子体工艺，或在等离子体工艺中涂覆合适的涂层，可将亲水表面转化为疏水表面（通过亲水涂层也可实现反向转化）。
Diener electronic
提供的用于评估表面能的测试墨水： 如果测试墨水在涂布到表面后收缩，则该固体的表面能低于墨水的表面能；如果润湿状态得以保持，则该固体的表面能等于或大于液体的表面能。 通过使用一系列表面能分级的测试墨水，可以测定固体的总表面张力。不过，该方法无法确定表面能中的极性部分和非极性部分。
网格切割试验
为检验涂层的附着力，需进行网格切割试验（标准：DIN EN ISO 2409 和 ASTM D3369-02）。涂装完成后，在塑料零件的涂层上进行网格状切割。 随后，将符合标准的胶带粘贴在切割网格上，压紧后猛地撕下。如果胶带上残留有漆膜，则说明涂层的附着力不足。因此，网格切割试验可反映塑料零件上漆层的附着力。
运行过程中可以打开腔室门吗？
在正常情况下不会，因为真空产生的负压会将门吸附在腔体外壳上。
能透过观察窗看到里面吗？
是的，根据材料的不同，可以观察真空室内部的情况。
Tetra 320R等离子设备适合连续运行吗？
这款用于科研和技术的Low Cost设备Tetra 320R，不适合连续运行。
Tetra 320R能否处理对温度敏感的部件？
是的，由于这是冷等离子体，因此Diener electronic的低压等离子体设备Tetra 320R适用于对温度敏感的元器件。
对静电敏感的元件可以使用Tetra 320R进行处理吗？
是的，使用Tetra 320R的低压等离子体可以实现这一点。如有需要，我们的工艺部门可为您进行测试。
在Tetra 320R系统中，除了氢之外还有其他替代方案吗？
如向Diener electronic咨询，该Tetra 320R系统可考虑采用氢气发生器，或将水蒸气作为氢气的替代方案。
处理后可以触摸这些部件吗？
是的，是安全的——我们建议谨慎操作并佩戴手套，以避免污染。因为等离子体虽然能去除有机污染物，但无法去除无机污染物。 例如，指纹上的汗液中就含有盐分（无机杂质）。
Tetra 320R是否需要排气过滤器？
是的，无论使用何种燃气，所有设备都必须连接到有效的排气系统。 这些设备会产生氮氧化物、废气、细微的油雾（对于燃油泵而言）等，这些物质绝不能吸入；此外，这些气体通常呈酸性，因此会加速周围部件、机器和设备的锈蚀。
Tetra 320R系统在软件控制方面支持哪些连接方式？
通过全PC控制，Diener electronic的Tetra 320R等离子系统具有以下连接选项：
- 上级控制系统，例如通过 Profinet 连接
- MES系统，例如通过OPC UA
- 通过 ODBC 连接数据库
