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玻璃 可通过氢氟酸进行化学蚀刻，但是氢氟酸的毒性很高，并且可能会造成后果严重的腐蚀。也可以选择在 等离子体 中对玻璃进行受控蚀刻，如果使用的是含氟的 工艺气体 。通过这种方式，在腐蚀性的氟化合物和环境之间不会发生直接接触。
