GDOS

Glow Discharge Optical Spectroscopy，即光学辉光放电光谱法，是对厚层进行表面分析的方法。在直流电压等离子体中，样本被切换为 阴极 ，并借此逐渐蒸发。蒸发的粒子和等离子气体原子 (Ar) 之间的碰撞，会导致蒸发的层原子产生特征性发射。