GDOS

Glow Discharge Optical Spectroscopy,即光学辉光放电光谱法,是对厚层进行表面分析的方法。在直流电压等离子体中,样本被切换为 阴极 ,并借此逐渐蒸发。蒸发的粒子和等离子气体原子 (Ar) 之间的碰撞,会导致蒸发的层原子产生特征性发射。

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