惰性气体 具有较高的天然丰度(接近地球大气的 1%),由于其具有完整的化学惰性,所以通常用作保护气体。在等离子清洗等离子活化 中经常使用的工艺气体不会和基材发生任何化学反应,但是可以去除污染物(->微喷砂效果),适合进行各向异性物理蚀刻(离子蚀刻 IE)以及适合 自由基位点 在有机 聚合物 上的产生。

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