氩

惰性气体 具有较高的天然丰度（接近地球大气的 1%），由于其具有完整的化学惰性，所以通常用作保护气体。在等离子清洗 和 等离子活化 中经常使用的工艺气体不会和基材发生任何化学反应，但是可以去除污染物（->微喷砂效果），适合进行各向异性物理蚀刻（离子蚀刻 IE）以及适合 自由基位点 在有机 聚合物 上的产生。