正性光刻胶

光致抗蚀剂、聚合物漆料,其在干燥后几乎是不溶性的。但是,该漆料含有辐射敏感型添加剂,也就是所谓的光引发剂。其在碳酸 H2CO 中受光线影响会发生转变,从而使漆料层能够很好的溶解于弱碱性溶液中。 故此,在曝光和随后显影之后,仅会去除曝光区域,而未曝光区域保持稳定。 

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