正性光刻胶

光致抗蚀剂、聚合物漆料，其在干燥后几乎是不溶性的。但是，该漆料含有辐射敏感型添加剂，也就是所谓的光引发剂。其在碳酸 H₂CO₃  中受光线影响会发生转变，从而使漆料层能够很好的溶解于弱碱性溶液中。 故此，在曝光和随后显影之后，仅会去除曝光区域，而未曝光区域保持稳定。