CVD-涂层

对于 CVD 方法,会将气体混合物引入反应室中,该气体混合物会在高温下发生 化学反应 产生固体,并在基材表面的催化作用下沉淀到基础材料上。这种工艺方法存在多种变化,可将其区分为热 CVD 工艺和 等离子活化 CVD (PA-CVD)。前述工艺方法的主要反应类型是化学合成、热解和歧化。对于 PA-CVD 工艺而言,是通过等离子体激活化学反应的。除了 PACVD 这个名称以外,在英语文献中还采用了 PE-CVD 这个术语 (PECVD, plasma enhanced CVD)。

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